微机电系统（MEMS）走进人们视野不久的小精灵，给我们的生活带来太多的惊喜。喷墨打印机里的微喷头，汽车安全气囊里的微加速度计，医学上测量血压的微压力传感器，投影仪里的数字微镜芯片，计算机网络中的微光交换系统……MEMS技术广泛应用在航空航天、普通家电、生物医疗、工业自动化等众多领域，正在深刻改变着我们的生活。