获奖成果

国家级
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高动态MEMS压阻式特种传感器及系列产品

获奖分类: 国家技术发明奖

获奖名称: 高动态MEMS压阻式特种传感器及系列产品

获奖年份: 2017

获奖级别: 二等奖

主要完成单位: 西安交通大学、昆山双桥传感器测控技术有限公司、西安定华电子股份有限公司

主要完成人: 赵玉龙、赵立波、田边、蒋庄德、王冰、王瑞

成果简介:

该项目属于先进制造研究领域。历时10年,提出了基于微纳力学耦合及无频损失封装的特种传感器设计新思路, 发明了高动态 MEMS 压阻式特种传感器及系列产品, 解决了国防及石化等领域的应用急需。获授权发明专利 53 项,两项成果通过了技术和新产品鉴定,开发的高动态 MEMS压阻式特种压力/加速度传感器及系列产品在航空航天、兵器、石油化工等领域实现了应用和产业化,经济社会效益显著,打破了国外垄断,为高性能传感器的国产化做出突出贡献。联系人:赵玉龙,13991132182。

图1-压力芯片.jpg图2-加计芯片.jpg图3-产品1.jpg图4-产品2.jpg图5-产品3.jpg