本项目属于自动化与半导体材料的交叉技术领域。本项目以制造满足极大规模集成电路要求的大尺寸电子级硅单晶炉为目标，发明了硅单晶直径、熔硅液面位置和籽晶与液面接触检测方法与装置、非对称CUSP（勾型）磁场的
2017-04-17 17:04:48
舶动力装置的主要故障类型。针对传统的定期取样送检模式，发明磨损状态信息的实时在线监测方法与装置；针对现有的机舱自动化系统不能实现磨损故障分类与定量描述，发明多参数耦合的磨损状态定量识别技术；针对单一参
2017-04-17 17:04:48
在我国政府承诺淘汰臭氧损耗物质氟里昂、而又无其替代品HFCs的催化合成技术背景下，系统开展了氟化催化剂制备科学与技术及其应用技术的研究，发明了系列氟化催化剂及其应用技术，获授权国家发明专利23项，形成
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