科技成果

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成果名称: 柔性、高清显示用大宽幅、高品质钼溅射靶材成套制备工艺技术及应用

成果登记号: 9612020Y0815

第一完成单位: 金堆城钼业股份有限公司

联 系 人: 杨小凯

成果类型: 应用技术

成果体现形式 : 新产品

技术领域: 新材料

应用行业: 制造业

成果简介:

项目在中央投资重点产业振兴和技术改造专项"大尺寸高品质钼板材产品生产线建设"的基础上,结合全球半导体平面显示高清、柔性技术的发展趋势,适应工信部下发的我国《超高清视频产业发展行动计划(2019-2022年)》产业政策,针对国内外对高清、柔性显示用大规格钼溅射靶材的重大需求与制备技术空白,以超大宽幅(>1800mm)、细晶高均匀性、高机加工精度的钼溅射靶材为研究重点,以OLED柔性及高清显示用钼靶材产品的研发与产业化应用为目标,开展超大规格钼制备粉末冶金制坯技术、大宽幅细晶钼板材压延及热处理技术、大尺寸高精度钼板材机加工技术等方面的研究,满足柔性、高清显示技术发展对钼溅射靶材的最新需求。

并通过集成关键产业化设备、工装、检测设备的研制,实现高清柔性钼溅射靶材的批量化推广应用。

项目首创"平装立压" 方式,结合自行设计的"全方位自由收缩式"橡胶模具设计,解决了困扰行业内大单重板坯制备的诸多瓶颈问题,制备出全球的最大单重(1200kg)的高均匀性钼压制生坯,并自动化批量化生产。

项目首创电极捆绑式烧结方法及"慢升温,短保温"的独特烧结工艺,解决了大单重板坯烧结过程的均匀性控制问题,满足靶材产品高均匀性要求。

项目开发的"超高温补热+剧烈塑性变形+在线补热"的轧制方式,实现从坯料到靶材产品的快速高效制备,结合产业化设备配套研发,解决了高清柔性显示所需钼靶材产品大宽幅与细晶化之间的技术瓶颈。

项目采用全新的"振动时效+冷校平+磨铣加工"的加工方式,成功解决大宽幅钼板坯机加工及后处理过程中易变形问题,所制备的产品机加工精度达到国际先进水平。