科技成果
成果名称: 一种基于金属基片的微型填充式富集器及制备方法
成果登记号: 9612019Y2771
第一完成单位: 西安交通大学
联 系 人: 刘一凡
成果类型: 应用技术
成果体现形式 : 新工艺
技术领域: 其他
应用行业: 科学研究和技术服务业
成果简介:
本发明公开了一种基于金属基片的微型填充式富集器及制备方法,包括自上而下依次分布的封装片、钎焊层、基片层和介电层,其中基片层上表面开有微型通道,微型通道内填充有吸附剂材料,基片层的侧面开有进口和出口,并分别与微细管道进行连接;被测气体自基片层的进口透过吸附剂材料的缝隙从基片层的出口通过;所述介电层上设置有一对加热元件和一对敏感元件
本发明使得富集器实现微型化、高富集率、低功耗、材料稳定、易于集成;相比较硅微基具有更好的导热性能,且其具有死体积小、热容小、功耗低、升温快等优点;加热元件采用厚膜工艺,工艺简单、成本低