科技成果
成果名称: 一种产生均匀、稳定射流等离子体的装置一种产生均匀、稳定射流等离子体的装置一种产生均匀、稳定射流等离子体的装置一种产生均匀、稳定射流等离子体的
成果登记号: 9612019Y2779
第一完成单位: 西安交通大学
联 系 人: 刘一凡
成果类型: 应用技术
成果体现形式 : 新技术
技术领域: 其他
应用行业: 科学研究和技术服务业
成果简介:
本发明公开了一种产生均匀、稳定射流等离子体的装置
所述装置包括高压电极、地电极、气室、通气管,所述高压电极置于所述通气管内,地电极设置于通气管的外表面;工作时,高压电极和地电极之间施加有高压,形成等离子体放电区域;给料气体由气室通过通气管到达上述等离子体放电区域,并将产生的等离子体以射流的形式作用到被处理物
所述装置还可包括流量控制器对给料气体的成分和流速进行控制,并可在高压电极尖端设置绝缘层;能够产生稳定、均匀、活性粒子强度较高的射流等离子体,并降低放电电压、提高安全性,更加适用于生物医学、材料表面处理、环境保护等多个应用领域