科技成果
成果名称: 一种基于激光诱导光谱击穿技术检测真空装置真空度的系统及方法
成果登记号: 9612019Y2797
第一完成单位: 西安交通大学
联 系 人: 刘一凡
成果类型: 应用技术
成果体现形式 : 新技术
技术领域: 其他
应用行业: 科学研究和技术服务业
成果简介:
本发明公开了一种基于激光诱导光谱击穿技术检测真空装置真空度的系统及方法，该方法利用激光聚焦烧蚀真空腔室内靶材料产生等离子体，通过光学镜头聚焦，光谱仪分光，像增强器呈像测量等离子体光谱
经过多次测量不同气压环境下等离子体光谱，分析找到等离子光谱和气压的关系
利用该关系，通过测量等离子体光谱即可获知真空腔室气压
