科技成果
成果名称: 一种数字式差动型微加速度计
成果登记号: 9612019Y2802
第一完成单位: 西安交通大学
联 系 人: 刘一凡
成果类型: 应用技术
成果体现形式 : 新技术
技术领域: 其他
应用行业: 科学研究和技术服务业
成果简介:
一种数字式差动型微加速度计芯片,包括具有质量块?弹簧功能的硅基底和两根石英双端固定音叉,硅基底由质量块和支撑质量块的两根悬臂梁组成,质量块、悬臂梁组成质量块?弹簧系统指的是沿着微加速度计芯片敏感方向,悬臂梁具有弹性特性,悬臂梁沿着质量块的对角线方向;石英双端固定音叉沿着质量块的另外一条对角线方向,两个结构相同的石英双端固定音叉处于差动方式布置,本发明能够消除温度对传感器的影响,提高传感器的非线性度,具有响应速度快、精度高等优点