科技成果

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成果名称: 一种PDMS微流控芯片的制作方法

成果登记号: 9612020Y2679

第一完成单位: 西北工业大学

联 系 人: 专利第一发明人

成果类型: 应用技术

成果体现形式 : 新技术

应用行业: 科学研究和技术服务业

成果简介:

本发明涉及一种PDMS微流控芯片的制作方法,首先使用普通加工方式加工出带有毫米级结构的母模,在母模上浇筑PDMS并固化剥离得到原代的PDMS弹性印章,然后使用一种固化收缩型聚氨酯(HydroshrinkTM)浇注在原代PDMS弹性印章上制作PU弹性印章,使结构尺寸在毫米级的模板收缩至微米级,然后继续使用软刻蚀技术在PU弹性印章上浇筑PDMS并固化剥离,最后将固化的PDMS与玻璃键合,制作成可使用的系统封闭的PDMS微流控芯片。

本发明使用PU材料制作软刻蚀技术中的弹性印章,使尺寸在毫米级别的结构收缩至微米级别,摆脱了传统方法中光刻等微加工技术来制作微流控芯片,大大降低了芯片制作的成本,简化了操作工艺,也避免了开放系统的芯片在使用时易受到影响的问题