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成果名称: GaN微米棒阵列/石墨烯场发射阴极复合材料制备方法

成果登记号: 9612022Y0593

第一完成单位: 西安理工大学

联 系 人: 梁伟

成果类型: 应用技术

成果体现形式 : 新材料

技术领域: 电子信息

应用行业: 科学研究和技术服务业

学科分类: 电子离子与真空物理(140.4520)

应用状态: 未应用

完成人: 崔真,王霞,赵娜娜,李恩玲,王少强

成果简介:

本发明公开了一种GaN微米棒阵列/石墨烯场发射阴极复合材料制备方法,具体步骤如下:步骤1,对硅衬底镀铂薄膜,然后将镀过铂薄膜的硅衬底进行退火处理,退火结束后自然冷却到室温,得到衬底A;步骤2,将步骤1得到的衬底A与反应源一起进行热处理,衬底A与反应源之间保持一定距离,反应完成后自然冷却到室温,得到衬底B;步骤3,将步骤2得到的衬底B进行热处理,反应完成后自然降温至室温,即得GaN微米棒阵列/石墨烯场发射阴极复合材料。通过该方法制备得到的GaN微米棒阵列/石墨烯场发射阴极复合材料具有优良的场发射特性。