科技成果

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成果名称: 一种利用等离子体刻蚀调控有机薄膜光谱颜色的方法

成果登记号: 9612023Y1496

第一完成单位: 西安交通大学

联 系 人: 卜腊菊

成果类型: 应用技术

成果体现形式 : 新装备

技术领域: 先进制造

应用行业: 科学研究和技术服务业

学科分类: 物理学(140)

应用状态: 小批量或小范围应用

完成人: 鲁广昊,沈子超,江以航,俞金德,朱远惟,卜腊菊

成果简介:

本项目研究聚合物薄膜结构多分散性引起的微尺度光学和电学多分散性。这里的结构多分散性包括分子结构(分子量和化学立构规整性)多分散性以及微相(半晶性和多晶性、微晶尺寸和微晶取向、链构象及链取向等)结构的多分散性,是聚合物常见的化学和凝聚态属性。本项目所研究的光学多分散性是指聚合物薄膜是由具有不同紫外-可见光学吸收、红外光学吸收、光折射与散射、荧光发射等性质的微相所组成的;电学多分散性则意味着微观上不同的微相区域具有不同的能带、电荷浓度、电荷迁移率、介电等电学性质。在申请人前期多组分聚合物及齐聚物相演化研究基础上,本项目研究聚合物结构多分散性对微观“功能多分散性”的影响机制及应用,包括薄膜中微尺度的光学干涉和散射、光学吸收、荧光发射与猝灭以及电荷分布、电荷局域态密度、电流电压非均匀分布等微观性能。该研究属于高分子物理的研究范畴。

1.对于单组份体系,亚层吸收光谱在薄膜厚度方向的空间分辨率达到1纳米;

2.对于多组分薄膜,通过改变刻蚀工艺和刻蚀方向,实现优于5纳米的空间分辨率;

3.利用表面选择软离子体刻蚀获得的两种材料分析方法:亚层光谱和三维形态重构,互相校正来提高分辨率和可信度。争取在国际上能够首次获得亚层薄膜的电子衍射及亚层TEM暗场像,并与基于软离子体减薄获得的亚层元素分析进行对照。

4、在知识产权方面,我们预期申请发明专利2-4项,以保护有明确应用前景的材料或者仪器。调试完成国际上首台薄膜亚层光谱分析仪并获得一定推广。发表高水科学论文6篇以上,其中影响因子大于7.0的不少于4篇。

5、在高分子材料分析方法和高分子物理交叉领域取得一定的研究优势,并在国际上做出特色。