技术领域

   本成果涉及一种用于大功率IGCT器件测试夹具滑台定位机构，可方便的将大功率IGCT器件安放于测试夹具上，并能自动准确与夹具圆柱形加热体实现同心定位。

背景技术

   目前功率半导体器件发展十分迅速，特别是工程化大功率IGCT器件其电流能力已达到5kA，电压达到6.5kV水平，元件芯片直径正向6英寸发展。IGCT是一种集成门极换向晶闸管，其核心器件是可关断晶闸管GCT，将其与门极驱动电路PCB板集成在一起而形成IGCT。由于IGCT芯片部分体积和重量都较大，同时门极驱动PCB板面积也较大，这样在对IGCT进行性能测试时，由于测试夹具加热体往往深入到夹具机柜内部，测试时必须保证被测器件与圆柱形加热体同心，以往采用测试人员手端被测器件放置到测试夹具中的方法，测试员劳动强度较大，同时不容易对中，容易造成被测器件表面划伤。为此我们在IGCT动态特性测试台配套的测试夹具上设计了大功率IGCT器件测试夹具滑台定位机构。该机构还可应用于其它种类平板型大功率半导体器件测试夹具的对中定位。