本课题以超高精密机械零件常用的高碳铬钢和高合金钢为主要研究对象，基于固态相变理论，通过实施不同的热处理方案，从材料微观组织演变角度分析影响精密零件尺寸稳定性和服役寿命的影响因素。探索影响高精密零件尺寸稳定性的共同机理。 主要内容包括以下三部分。 （1）高碳铬钢与高碳合金钢中残余奥氏体热稳定性及其调控：通过不同热处理工艺研究残余奥氏体的热稳定性和热膨胀规律。 （2）高碳铬钢与高碳合金钢中残余奥氏体机械稳定性及其调控：运用纳米压痕、单轴拉伸/压缩等方案研究残余奥氏体在外加应力及不同应力状态下的演变规律。 （3）建立超高精密机械零件尺寸稳定性及其服役寿命与微观组织演变之间的关系和规律。