项目针对3D激光扫描仪、车规级激光雷达、共聚焦显微系统的应用需求，开发出基于SOI衬底的电磁驱动MEMS二维扫描微镜，并成功将MEMS微镜应用于3D激光扫描仪、车规级激光雷达、共聚焦显微系统等产品。项目针对微镜性能优化、温漂抑制和车规认证难题，提出来一种基于光曲面模型的MEMS振镜标定方法，攻克了MEMS微镜在无焦距激光三维扫描仪中集成的标定关键技术，开发出MEMS二维扫描微镜综合测试系统，并在激光雷达、智能制造、三维建模、医学影像领域开展推广和应用试验，实现了微镜和相关仪器销售，形成了论文、专利、标准等一系列知识产权成果。