本发明公开了一种新的MEMS设计优化方法，属于MEMSCAD技术领域。该方法在给定MEMS器件结构及其待考察性能指标和优化变量的条件下，基于单元库构建MEMS新器件的系统模型，在试验设计的基础上对系统模型进行计算机仿真试验，通过对仿真试验结果进行回归分析建立待考察性能指标和优化变量之间的函数关系，基于该函数关系写出优化目标和约束条件的数学表达式，选择优化算法对其进行优化并得到优化结果。与现有基于单元库和遗传算法的MEME设计优化方法相比，本发明保持了其可实现MEMS器件快速建模的优点，同时增加了总体优化过程时间减少及可适用于不同优化算法的优点。