一种用于三氯氢硅生产的除尘工艺及系统专利号：ZL201210358683.9   在冷氢化和三氯氢硅合成工艺中，最早采用的是传统的湿法洗涤除尘，含尘气体进入到洗涤塔塔釜液相中进行鼓泡洗涤，由于反应气体流量和温度的瞬时波动，导致液位波动较大，不易控制，同时汽化的气体在上升过程中很易夹带硅粉和凝华下来的金属氯化物，造成洗涤塔顶部冷凝器被堵塞，影响装置的连续稳定运行。此外由于反应气体在塔釜不断的鼓泡，硅粉、金属氯化物以及高沸物在塔釜没有一个沉积的过程，使得由塔釜排出的渣浆中硅粉、金属氯化物以及高沸物等杂质含量低，增大了后续氯硅烷回收系统的负荷。   在本发明提供的除尘工艺中，含尘气体在进入洗涤塔之前先进入文丘里洗涤器进行初步的洗涤，在文丘里中雾化后的洗涤液与含尘气体充分接触，使气体中含有的硅粉颗粒被液体湿润，发生激烈的凝聚。同时对反应气体进行了急冷，除去了气体中的三氯化铝等金属氯化物，经文丘里洗涤后的气液两相在分离罐中分离，气相进入洗涤塔的气相部分，在洗涤塔中被进一步的洗涤，以完全除去其中的微量硅粉，使得气体在进入冷凝器时不会堵塞管道和设备。液相进入洗涤塔的液相部分，其中硅粉，金属氯化物和高沸物经过沉降由洗涤塔底部的浆料口排出，保证了装置连续稳定的运行。   在本发明提供的除尘系统中，对洗涤塔进行了特殊的设计以避免塔釜液位波动较大，同时有利于塔釜硅粉、金属氯化物以及高沸物等杂质的顺利沉积和排出，延长了设备的使用寿命，同时减轻了后续氯硅烷回收系统的负荷。   本发明已在内蒙盾安，四川永祥等多家多晶硅企业成功应用，得到厂家一致认可。