科技成果

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成果名称: 集成混合及敏感功能的双模式声波分析芯片的研究

成果登记号: 9612017J0132

第一完成单位: 长安大学

联 系 人: 文常保

成果类型: 基础理论

成果体现形式 : 研究报告

技术领域: 先进制造

应用行业: 制造业

成果简介:

    本研究将具有敏感和混合功能模式声表面波器件结构集成的方法,实现微分析芯片中敏感和混合功能的有机集成。研究采用理论研究与实验实践相互结合的研究方式,研究各模式声表面波的产生机理、传播特性、器件结构和功能特点,丰富和完善敏感及混合功能模式声表面波相关理论体系。同时,对器件的制备、测试和应用进行了研究。已出版发表研究论文7篇,授权发明专利4项,培养已毕业研究生5人。通过该研究,在微分析芯片和功能模式声波理论研究,以及芯片设计、制备、测试方面获得多项白主知识产权,并在复杂功能芯片集成、应用方面积累和奠定良好的研究基础。