CL200型单晶炉项目是直拉法（CZ）原理开发的大投料量、高自动化单晶硅晶体生产炉，主要用于拉制大尺寸太阳能单晶硅棒。设备可配备24″～26″热系统，可拉制8″～10″晶棒，新型提拉头满足350kg承重，最大籽晶行程5m，可实现全工艺过程自动化控制，各项技术指标均达到国内领先水平。  

    主要技术及性能指标

        基本参数

        坩埚杆称重：               350Kg

        适合晶体：                 8″～10″

        热系统：                   24 ″～26″

        籽晶在炉内有效行程：       0～5000mm

        籽晶拉速：                慢速 0.01～10.00mm/min   快速0～400mm/min

        晶体转速范围：            1～40rpm

        坩埚在炉内有效行程：      0～500mm

        坩埚升速：                慢速 0.01～1.0mm/min   快速0～100mm/min     

        坩埚转速范围：            1～20rpm    

        冷炉极限真空：            ＜3Pa

        压升率：                  3Pa/10min

        加热电源功率柜采用数字触发器，加热功率可手动及远程控制

        多种安全保护 

    本项目由公司自主创新研发，并通过了科技成果鉴定。是我公司系列单晶炉创新技术的结晶，集成了国内外已有先进设备的特点。项目产品投料量大，支持双加热器，配备称重传感器，采用电动提升、旋开，配备导流筒提升机构，配备液面测温等先进技术，通过全新的控制系统及测控点实现全自动控制。该产品以全新的设计理念，最优的炉膛-热场尺寸比实现节能，并增加底部加热器，极大缩短化料时间。此外，采用导流筒提升机构，配备钼导流筒，增大投料量，提升了长晶速率，提高了生产效率。采用高精度的称重系统可实现晶体重量闭环控制的同时精确控制埚底料，通过液面测温装置实现引晶温度的检测及修正，实现全过程自动化。采用电动提升装置代替传统的液压提升装置，配备了副室电动旋开和翻板阀启动旋开，大大提升了自动化水平。其各项技术行业领先，填补西部空白。