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超快激光微加工装备及应用
持有单位: 中国科学院西安光学精密机械研究所;西安中科微精光子制造有限公司
成果简介:
项目基于超快激光精密制造技术研发,突破了工业化飞秒激光器、复合光束扫描技术、适应定位技术等多项制约超快激光工程化应用的核心技术及工艺,在国内率先研制出系列化超快激光精密制造装备,填补国内空白,打破国外垄断,且设备在中国航发等40余家行业代表单位实现应用,为用户提供高精度、低损伤加工的“支点型”制造手段,解决了航空、航天、电子等军民领域的诸多难加工材料的共性工艺需求。