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大尺寸电子级硅单晶炉关键技术及其应用

获奖分类: 国家技术发明奖

获奖名称: 大尺寸电子级硅单晶炉关键技术及其应用

获奖年份: 2012

获奖级别: 二等奖

主要完成单位: 西安理工大学北京有色金属研究总院

主要完成人: 刘丁、周旗钢、赵跃、焦尚彬、任海鹏、杨润

成果简介:

本项目属于自动化与半导体材料的交叉技术领域。

本项目以制造满足极大规模集成电路要求的大尺寸电子级硅单晶炉为目标,发明了硅单晶直径、熔硅液面位置和籽晶与液面接触检测方法与装置、非对称CUSP(勾型)磁场的优化设计方法、电子级硅单晶生长新工艺和控制方法以及双滑块直线导轨驱动方法、新型籽晶夹持器等数十项关键技术与核心部件。研制成功我国首台极大规模集成电路用300mm硅单晶炉并形成系列产品,整体性能达到国际先进水平。核心技术和系列产品已在相关行业推广使用并出口美国、韩国等企业,新增产值24.64亿元,新增利润4.65亿元,取得了显著的社会、经济效益。











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