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大尺寸电子级硅单晶炉关键技术及其应用
获奖分类: 国家技术发明奖
获奖名称: 大尺寸电子级硅单晶炉关键技术及其应用
获奖年份: 2012
获奖级别: 二等奖
主要完成单位: 西安理工大学北京有色金属研究总院
主要完成人: 刘丁、周旗钢、赵跃、焦尚彬、任海鹏、杨润
成果简介:
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