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微机电系统的泛结构化设计方法与技术

获奖分类: 国家技术发明奖

获奖名称: 微机电系统的泛结构化设计方法与技术

获奖年份: 2011

获奖级别: 二等奖

主要完成单位: 西北工业大学

主要完成人: 苑伟政、常洪龙、马炳、乔大勇、吕湘连、虞益挺

成果简介:

微机电系统(MEMS)走进人们视野不久的小精灵,给我们的生活带来太多的惊喜。喷墨打印机里的微喷头,汽车安全气囊里的微加速度计,医学上测量血压的微压力传感器,投影仪里的数字微镜芯片,计算机网络中的微光交换系统……MEMS技术广泛应用在航空航天、普通家电、生物医疗、工业自动化等众多领域,正在深刻改变着我们的生活。







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