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环境友好系列含氟电子气体的催化制造技术开发及应用

获奖分类: 陕西省科学技术进步奖

获奖名称: 环境友好系列含氟电子气体的催化制造技术开发及应用

获奖年份: 2018

获奖级别: 一等奖

主要完成单位: 中化近代环保化工(西安)有限公司、北京理工大学、北京宇极科技发展有限公司

主要完成人: 权恒道、杨会娥、李忠、赵升、张小玲、李峰、柴华、王民涛、 庆飞要、胡儒柱、董利

成果简介:

2018年度陕西省科学技术奖一等奖

 

环境友好系列含氟电子气体的催化制造技术开发及应用

 

项目编号:S2018JLJS00135

主要完成单位:中化近代环保化工(西安)有限公司、北京理工大学、北京宇极科技发展有限公司

主要完成人:权恒道、杨会娥、李忠、赵升、张小玲、李峰、柴华、王民涛、

庆飞要、胡儒柱、董利

推荐单位:陕西省工业和信息化厅

 

项目简介

 

“环境友好系列含氟电子气体的催化制造技术开发及应用”成果属于环境化学工程技术领域,旨在开发用于芯片、大型集成电路等制造的关键材料—电子用高纯含氟气体,包括碳酰氟、三氟碘甲烷、一氟甲烷等系列化合物,为我国履行《蒙特利尔议定书》、《京都议定书》及《巴黎协定》等国际公约提供了核心技术支持。

该成果具有原创性和独立的知识产权。主要创新点为(1)首次开发了碳酰氟作为新一代电子刻蚀及清洗气体,发明的独特制备技术,采用一氯二氟甲烷为原料,避免了光气与氟气,创造性的将四氟乙烯与氧气的爆轰反应转化为安全的燃烧过程,解决了四氟乙烯与氧气通常发生爆轰的世界难题;(2)发明了独有的以多孔技术氟化物为基体的气相氟化、溴化和碘化系列催化剂,适用于高温及强腐蚀环境,具有反应活性高、寿命长等特点;(3)开发了系列含氟电子气体产业化技术。

该成果已获授权发明专利25件,其中国际发明专利5件、国家发明专利20件,已发表被SCI收录的论文20多篇。该成果的系列电子用高纯含氟气体已被Intel公司、三星公司、Saval公司以及Casio株式会社等国际知名公司所使用,已产生了显著的经济效益。

 


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