项目
项目名称: 大尺寸电子级超导磁控硅单晶炉装备关键技术开发
项目编号: 2015KTZDGY09-11
项目年份: 2015
项目类别: 重点产业创新链
项目成员: 赵跃
所属领域: 新材料产业
承担单位: 西安理工大学
项目经费(万元): 86
项目创新: 大尺寸电子级超导磁控直拉法单晶硅制备关键技术及装备
项目简介:
针对极大规模集成电路用硅单晶的性能指标及对单晶炉的要求，在现有研制的超导磁场的基础上，优化设计大尺寸电子级硅单晶炉的结构，对现有单晶炉所有碳钢支撑部分和液压缸进行优化设计，更换为非磁性不锈钢，依据要求校核承载力及结构。设计超导磁场升降机构，使其可以方便的调整到不同工艺条件下的位置，并在磁场非工作状态下可降至工作平台位置。同时升降机构运行时不得影响超导磁场的安全。依据设计对部件进行加工及装配调试。更换调试相关部件，进行强磁场环境中的电气测试。进行强磁场环境下的煅烧测试。进行强磁场环境下晶体生长工艺试验。在强磁场环境中拉制出大直径单晶棒。开发出满足极大规模集成电路要求的具有自主知识产权的大尺寸电子级要求的超导磁控工艺技术。
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相关领域项目:
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