项目
项目名称: 微机电系统（MEMS）高温力传感器
项目编号: 2015KTCQ01-037
项目年份: 2015
项目类别: 战略新兴产业重大产业群
项目成员: 戚龙
所属领域: 工业类
承担单位: 陕西电器研究所
项目经费(万元): 40
项目创新: （1）力敏元件的高温绝缘膜和高温敏感膜技术；（2）力敏元件的MEMS制作工艺；（3） 微机电系统（MEMS）高温力传感器，其承压基体为不锈钢材料，敏感元件采用MEMS工艺（离子束溅射技术、微加工光刻技术及离子束刻蚀技术等），使得微机电系统（MEMS）高温力传感器的使用温度也可以达到-50～250℃。
项目简介:
主要研究内容：开发新型微机电系统（MEMS）高温力传感器，具体研究内容主要有（1）力敏元件的耐高温绝缘膜和敏感膜研究；（2）微机电系统（MEMS）高温力传感器的敏感元件制作工艺开发及装配工艺开发；（3）微机电系统（MEMS）高温力传感器批量化工艺开发。
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