项目
项目名称: 高性能、低成本透明导电薄膜（TCO）制备技术研究
项目编号: 2015KTCQ01-008
项目年份: 2015
项目类别: 战略新兴产业重大产业群
项目成员: 常远程
所属领域: 工业类
承担单位: 陕西煤业化工技术研究院有限责任公司
项目经费(万元): 40
项目创新:
项目简介:
本项目以工艺稳定、成本低廉的磁控溅射技术为基础，采用玻璃衬底磁控溅射镀膜和柔性衬底卷对卷镀膜相结合的双技术路线。开发出一定规格玻璃衬底ITO薄膜及玻璃衬底ZnO薄膜、柔性衬底ITO薄膜和柔性衬底ZnO薄膜产品的制备工艺，获得产品的专利技术，最终形成开发产品的完整工艺包。 本项目分阶段依次开发出玻璃衬底TCO小试样品、柔性衬底TCO小试样品及中试产品、柔性衬底TCO预生产产品等。其中TCO中试产品通过刻蚀（pattern）可以满足某种特定终端产品（如触摸屏、太阳电池、可穿戴设备等）的需要，要求产品可以直接销售并被客户接受，性能指标不低于市场上高性能同类产品的指标。
上一篇：高纯金属钒工业化生产技术开发 下一篇：枣类系列健康产品的开发研究
相关领域项目:
相关类别项目:
