项目
项目名称: 导航传感一体化QMEMS石英惯性传感器
项目编号: 2015KTZDGY02-03
项目年份: 2015
项目类别: 重点产业创新链
项目成员: 陈福山
所属领域: 航空、航天
承担单位: 陕西麟德惯性电气有限公司
项目经费(万元): 90
项目创新: 高精度天线等核心组件，以及导航传感一体化核心部器件研发
项目简介:
该项目以MEMS微机电理论与半导体工艺方法相结合，经过分析、试验、研究，创新出了一套完整的石英晶体“微、精、细”加工立体化工艺，使石英晶体材料具备机械、电子、物理等方面的性能，实现高精度、高稳定附加值的石英敏感单元，通过驱动电路实现角速度检测、加速度检测等完全国产化、新型微传感器，主要研制内容与任务包括： 1.石英音叉结构设计； 2.石英音叉制造工艺； 3.腐蚀液配方； 4.石英音叉侧电极制造工艺； 5.石英音叉修调技术； 6.石英音叉去湿、封装技术； 7.石英音叉驱动与检测技术：完成敏感器的驱动和角速率敏感信号的采集、分离、输出以及温度补偿等； 8.传感器动态特性技术：解决石英传感器件动态平衡和减振问题；
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