一、研究内容及创新点：

该项目主要进行了高精度硅微机械陀螺的自主研制。发明了硅微机械陀螺的全滑膜阻尼、全解耦敏感表头结构、基于机械滤波的六阶ΣΔM（求和-微分-调制）低功耗抑噪接口电路、陀螺漂移的系统级补偿校准方法，大幅提高了该角速率传感器的信噪比，建立了高精度硅微机械陀螺设计的基础理论体系。同时突破了硅微机械陀螺的标准化制造、高真空批量化封装测试、低功耗抑噪接口电路的ASIC（专用集成电路芯片）设计等核心工程化技术。

二、知识产权情况：

发表研究论文46篇，他引267次；出版专著《MEMS集成设计技术与应用》；获授权发明专利12项；制订《基于SOI硅片的MEMS工艺规范》国家标准（GB/T 32814-2016）。

三、实施应用情况：

研究成果已在中航科技集团第一研究院、中航工业集团西安飞行自动控制研究所、中船重工集团第702研究所、中国兵器集团第213研究所等多家单位得到广泛应用，解决了关键技术难题，新增销售收入2680万元，经济效益显著。